名詞

分子線エピタキシー法

読

ブンシセンエピタキシーホウ

韻

うんいえんえいあいいいおう

分子線エピタキシー法は現在、半導体の結晶成長に使われている手法の一つである。真空蒸着法に分類され、物理吸着を利用する。高真空のために、原料供給機構より放たれた分子が他の気体分子にぶつかることなく直進し、ビーム状の分子線となるのが名称の由来である。 (出典: 分子線エピタキシー法 - Wikipedia)

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