名詞

自己整合

読

ジコセイゴウ

韻

いおえいおう

自己整合とは、例えば半導体等の集積回路作製プロセスにおいて、既に形成されたパターンを次のプロセスのマスクとして利用し、マスクの位置合わせ無しで次のプロセスを進めることである。また、最初のパターンあるいは形状が最終的な素子のパターンあるいは形状を決定する場合も自己整合と呼ぶ。自己組織化 (Self-assembly) とは異なる。 (出典: 自己整合 - Wikipedia)

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